Photo

장비이미지 준비중입니다

PH-01 / LITHIUS PRO

포토 트랙

Photo Track

제조사

TEL

’27년 구축예정

Photo

장비이미지 준비중입니다

PH-02 / XT1950

포토 ArF 이머전 노광

ArF Immersion Lithography

제조사

ASML

’27년 구축예정

Etch

장비이미지 준비중입니다

ET-01 / KIYO_EXP

플라즈마 이온 식각

Reactive Ion Etch

제조사

LAM

’27년 구축예정

Etch

장비이미지 준비중입니다

ET-02 / SYM3X

비절연체 식각

Conductor Etcher

제조사

AMAT

’30년 구축예정

Etch

장비이미지 준비중입니다

ET-03 / RK5

절연체 식각

Dielectric Etcher

제조사

HITACHI

’27년 구축예정

Etch

장비이미지 준비중입니다

ET-04 / SEBIT2

실리콘 식각

Silicon Etch

제조사

HITACHI

’29년 구축예정

Diffusion

장비이미지 준비중입니다

DI-01 / BJM3000

다결정실리콘 증착 장비

SINGLE POLY

제조사

유진테크

’27년 구축예정

Diffusion

장비이미지 준비중입니다

DI-02 / DJ_1223VN

질화물 증착 장비

LARGE_NIT

제조사

KE

’27년 구축예정

Diffusion

장비이미지 준비중입니다

DI-03 / FORMULA

산화물 증착 장비

MINI_TEOS

제조사

TEL

’27년 구축예정

Diffusion

장비이미지 준비중입니다

DI-04 / GUIDANCE

공간 분할 화학 기상 증착

Space Divided Plasma Chemical Vapor Deposition

제조사

주성

’27년 구축예정

Diffusion

장비이미지 준비중입니다

DI-05 / INDYPLUS

산화 및 어닐링 장비

RAD_OX

제조사

TEL

’31년 구축예정

Thinfilm

장비이미지 준비중입니다

TF-01 / VECTOR Extreme

산화물/질화물 증착 장비

Oxide(SiH4 base)/Nitride Deposition

제조사

LAM

’27년 구축예정

Thinfilm

장비이미지 준비중입니다

TF-02 / PRODUCER_GT

IMD/PASS 증착 장비

IMD/PASS Deposition

제조사

AMAT

’28년 구축예정

Thinfilm

장비이미지 준비중입니다

TF-03 / Ultima_X

실리콘탄소질화물 증착 장비

SiCN Deposition

제조사

AMAT

’31년 구축예정

Thinfilm

장비이미지 준비중입니다

TF-04 / PRODUCER_XP

Carbon/OP(TEOS BASE) 증착 장비

Carbon/OP(TEOS BASE) Deposition

제조사

AMAT

’28년 구축예정

Thinfilm

장비이미지 준비중입니다

TF-05 / TiCl4_FCAP

TICL4 TIN 증착장비

TICL4 TIN Deposition

제조사

TEL

’27년 구축예정

Thinfilm

장비이미지 준비중입니다

TF-06 / CVD W ALTUS

텅스텐 증착 장비

W Deposition

제조사

LAM

’27년 구축예정

Thinfilm

장비이미지 준비중입니다

TF-07 / Endura(HP AL)

알루미늄 증착 장비

AL Deposition

제조사

AMAT

’31년 구축예정

C&C

장비이미지 준비중입니다

CC-01 / SU3200_GT

Single 타입 세정 장비

Cleaning (Single)

제조사

SCREEN

’27년 구축예정

C&C

장비이미지 준비중입니다

CC-02 / EXPEDIUS_I_H3

Batch 타입 세정 장비

Cleaning (Batch)

제조사

TEL

’27년 구축예정

C&C

장비이미지 준비중입니다

CC-03 / SI308_G2.5

Single 타입 세정 장비

Cleaning (Single)

제조사

LSE

’29년 구축예정

C&C

장비이미지 준비중입니다

CC-04 / NSM312

Single 타입 세정 장비

Cleaning (Single)

제조사

LSE

’27년 구축예정

C&C

장비이미지 준비중입니다

CC-05 / CUMAX_Ate

건식 세정 장비

COR process DRY Cleaning

제조사

TES

’28년 구축예정

C&C

장비이미지 준비중입니다

CC-06 / CERTAS_LEAGA

건식 세정

Dry Cleaning

제조사

TEL

’29년 구축예정

C&C

장비이미지 준비중입니다

CC-07 / EXPEDIUS_I_H3

Batch 타입 세정 장비

Cleaning (Batch)

제조사

TEL

’31년 구축예정

C&C

장비이미지 준비중입니다

CM-01 / AMAT_LK_Prime

금속막평탄화 장비

Metal Chemical Mechanical Polishing (CMP)

제조사

AMAT

’27년 구축예정