Dark Field Inspection

장비이미지 준비중입니다

MI-01 / PUMA9550

암부 결함 검사

Dark Field Inspection (DFI)

제조사

KLA

’28년 구축예정

Particle Counter

장비이미지 준비중입니다

MI-02 / SP7XP

표면 파티클검사

Particle Inspection(PT)

제조사

KLA

’27년 구축예정

Macro Inspection

장비이미지 준비중입니다

MI-03 / CIRCL5

광학 Macro 불량 측정

MacroInspection

제조사

KLA

’27년 구축예정

CD-SEM

장비이미지 준비중입니다

MI-04 / GT2000S

주사형전자 현미경

Critical Dimension SEM

제조사

HITACHI

’27년 구축예정

Ellisomemer(Thickness)

장비이미지 준비중입니다

MI-05 / ATLAS

두께 측정

Thickness Measure

제조사

ONTO

’27년 구축예정

Stress(Warpage)

장비이미지 준비중입니다

MI-06 / FSM900C2C

응력측정장치

Stress Gauge

제조사

FSM

’27년 구축예정

Bright Field Inspection

장비이미지 준비중입니다

MI-07 / KLA2900

명부 결함 검사

Bright Field Inspection (BFI)

제조사

KLA

’29년 구축예정

Ellisomemer(Thickness)

장비이미지 준비중입니다

MI-08 / ECHO

금속필름 두께 측정 장비

Metal Thickness Measurement

제조사

ONTO

’27년 구축예정

AFM

장비이미지 준비중입니다

MI-09 / NX WAFER300

자동화 나노 측정

Atomic Force Microscope (AFM)

제조사

PARK SYSTEMS

’28년 구축예정

Rs

장비이미지 준비중입니다

MI-10 / VR300_DSE

면저항측정장비

Rs Measurement

제조사

Kokusai Electric

’27년 구축예정

Review SEM

장비이미지 준비중입니다

MI-11 / SEMVISION_G5

주사형전자 현미경

Defect ReviewSEM (Inspection)

제조사

AMAT

’28년 구축예정