TRINITY FAB
반도체 소부장 핵심기술 자립도를 높이고, 개발에서 양산 진입까지 상용화에 걸리는 시간을 단축해서 글로벌 경쟁력을 확보해 가는 곳
01|03
반도체 양산 라인과 동일한 환경에서 소부장 신제품의 양산성을 검증합니다
300mm 웨이퍼 기반 미니팹에서 공정·계측·검사를 지원하며, 평가에 필요한 Blanket Film Wafer와 Pattern Wafer 제작도 지원합니다.
02|03
혁신기술 개발과 실증에 필요한 클린룸 공간을 사용할 수 있습니다.
소부장 기업이 직접 혁신기술 실증 테스트를 충분히 반복 수행하면서 양산성을 검증받을 수 있도록 클린룸 임대 공간을 제공합니다.
03|03
소부장 양산 검증의 개방형 플랫폼을 만듭니다
트리니티팹 구축사업은 정부 · 경기도 · 용인시 · SK하이닉스가
함께하는
총사업비 8,746억원 규모의 기반조성 사업입니다.
양산 라인과 동일한 환경에서
소재·부품·장비를 검증해,
국내 기업의 양산 적용 리드타임을
30% 줄이는 것이 목표입니다.
- 0대
- 12인치 전공정 장비
- 0평
- 3Layer 클린룸
- 0+
- 이용 기업 목표
- 0%
- 양산 리드타임 감축 목표
반도체 전공정 인프라
최고 수준의 R&D, 양산 검증 환경을 제공합니다
노광 · PHOTO
미세 패턴의 시작, ArF Immersion 노광
Photo Track과 ArF Immersion 장비로12인치 웨이퍼의 미세 패턴 형성을 지원합니다.
식각 · ETCH
패턴을 새기는 정밀
식각
Dielectric·Conductor Etch 장비로절연막과 도전막을 정밀하게 가공합니다.
확산 · DIFFUSION
고온 열공정과
ALD
Thermal CVD(SiO₂·Si₃N₄·Poly-Si)와ALD(HfO₂·ZrO₂ 등) 장비를 운영합니다.
세정 · CLEANING
수율을 지키는 세정과
평탄화
Wet·Dry Cleaning과CMP(Cu·W·Oxide·Poly Si)
장비로 공정 품질을 유지합니다.
계측/검사 · MI
데이터로 증명하는
계측·검사
Particle·Thickness·CD-SEM 계측과BF·DF Imaging 검사 장비로
공정 결과를 검증합니다.
양산급 팹의 문을, 모든 소부장 기업에게
국내 소부장 기술과 제품의 양산성을 시험·평가·검증하는 개방형 생태계
그 문을 열어갈 트리니티팹의 서비스를 소개합니다.
